Polyimid a fotorezistický ultrazvukový postřikovací systém
Ultrazvukové stříkací systémy se ukázaly jako vhodné pro různé aplikace, které vyžadují jednotné a opakovatelné fotorezistické nebo polyimidové filmové povlaky. Ovládáním tloušťky z submikronu na více než 100 mikronů a schopností nabití jakéhokoli tvaru nebo velikosti jsou nátěrové systémy životaschopnou alternativou k jiným povlakovým technikám, jako je rotační a tradiční postřik.
Běžné aplikace polyimidových a fotorezistických povlaků zahrnují, ale nejsou omezeny na MEMS, čočky, mikrofluidní zařízení, mikroelektroniku a filtry. Potahovací systémy jsou schopny povlakovat ploché a 3D substráty, obvykle včetně křemíkových lupínků, skla, keramiky a kovů.
Ultrazvukové stříkání je jednoduchý, ekonomický a reprodukovatelný proces pro fotorezistické a polyimidové povlaky. Ultrazvukový povlakový systém může přesně řídit průtok, rychlost povlaku a množství depozice pomocí jednoduchých technik vrstvení. Lisování rozprašování s nízkou rychlostí definuje atomizovaný sprej jako přesný a kontrolovatelný vzorec, aby nedošlo k překročení a produkuje velmi tenké a jednotné vrstvy.
Výhody ultrazvukových polyimidů a fotorezistických povlaků:
1. Jednotné filmové pokrytí různých povrchových obrysů.
2. vysoká flexibilita ve vlastnostech chemických a povlaků.
3. Nepříslý atomizační sprej.
4. Vysoká účinnost přenosu s minimálním odpadem.
5. Vysoce reprodukovatelný proces zralého postřiku.
Ultrazvukový postřikovací systém používá vysokofrekvenční zvukové vibrace ke generování měkké mlhy složené z matematicky definovaných kapiček. Blokování je eliminováno, protože k generování spreje se používá žádný tlak a kapičky mají velmi úzkou velikost distribuce kapiček, což dále přispívá k uniformitě depoziční vrstvy.



