Ultrazvukové stříkání je jednoduchý, ekonomický a reprodukovatelný proces pro fotorezistické a polyimidové povlaky. Systém ultrazvukového povlaku může použít jednoduché techniky vrstvení k jemnému řízení průtoku, rychlosti povlaku a množství depozice.
Technologie ultrazvukového stříkání se používá pro polovodičové fotorezistické povlaky. Ve srovnání s tradičními procesy povlakování a impregnace má výhody vysoké uniformity, dobré zapouzdření mikrostruktury a kontrolovatelné plochy povlaku. V posledním desetiletí byla plně prokázána aplikace trojrozměrných mikrostrukturních fotorezistických povlaků. Proces přípravy fotorezistických povlaků ultrazvukovým atomizačním postřikem je výrazně lepší než tradiční spřádací povlaky, pokud jde o balení a uniformitu mikrostruktury.
Ultrazvukový systém stříkání může přesně řídit průtok, rychlost povlaku a osídlení objemu. Lisování s nízkou rychlostí rozprašování definuje sprej jako přesný a kontrolovatelný vzorec, aby se zabránilo nadměrnému spreji při výrobě velmi tenkých a jednotných vrstev. Tento ultrazvukový postřikovací systém může ovládat tloušťku od subkronu na více než 100 mikronů a může pokrýt jakýkoli tvar nebo velikost.
Charakteristiky technologie ultrazvukového povlaku pro fotorezist:
◆ Jednotné filmové pokrytí různých povrchových obrysů
◆ Spray nektaktu
◆ Postříkání mikroplněného vzduchu, více schémat krmení kapalin
◆ Přesnost řízení vysoká rychlost
◆ Vysoká míra využití kapaliny
◆ Vysoká flexibilita při chemickém a povlakovém výkonu
◆ Vysoká účinnost přenosu a minimální odpad
◆ Opakovatelný proces zralého postřiku