Ultrazvukové vybavení pro pyrolýzy sprej a systém povlaku TCO

Jednotný oxid tichového cínu z tenkého filmu (ITO), oxid zinku z hliníku (AZO), oxid zinečnatý (ZnO) a fluorovými oxidovými vrstvami jsou obvykle produkovány technologií ultrazvukové spreje. Tento jedinečný proces vyžaduje specializované povlakové zařízení k vytvoření nezbytné tloušťky a tvaru povlaku a pro postřik korozivních roztoků ve vysokoteplotním prostředí.

Během vysokoteplotní ultrazvukové sprejové pyrolýzy se prekurzorový roztok (jako je oxid hliníku) stříká na substrát zahřátý na přibližně 300-500 stupeň. Rozpouštědlo se odpaří během přepravy a na povrchu substrátu roste krystalický film ZnO, obvykle sodný vápník nebo jiné sklo. Teplota substrátu obvykle určuje morfologické vlastnosti filmu.

Ultrazvuková depozice mokrého spreje poskytuje výrobcům nákladově efektivní alternativu k depozici a rozprašování vakua s vyšší účinností přenosu. Velikost kapiček generovaná ultrazvukovou atomizační tryskou je vysoce jednotná, která může dosáhnout optimální velikosti kapiček pro pyrolýzou reakce a všechny kapičky budou během procesu depozice reagovat současně stejným způsobem. Ať už se jedná o výzkum a vývoj nebo hromadná výroba, přinese to efektivní procesy výroby TCO.

Použití funsonické ultrazvukové trysky překonává procesní výzvu postřiku vysoce korozivních kyselin. Tryska je vyrobena ze strukturálních materiálů rezistentních na korozi a má vlastnosti bez blokování, opakovatelnosti a dlouhé životnosti. Může dokonce stříkat vysoce korozivní roztoky kyseliny chlorovodíkové nebo kyseliny hydrofluorové.

Výhody ultrazvukového systému pyrolýzy spreje pro povlak TCO:

1. Ve srovnání s procesem CVD (chemické depozice par) je ultrazvuková pyrolýza spreje jednoduchá, flexibilní a nákladově efektivní.
2. osvědčené odborné znalosti TCO.
Ve srovnání s jinými metodami postřiku mohou ultrazvukové trysky ukládat jednotnější vrstvy.
4. Snadno nastavitelné a opakovatelné parametry povlaku.
5. Plně integrovaná patentovaná technologie ultrazvukové trysky a dodávání kapalin, což poskytuje kompletní roztok povlaku.
Alternativní nízkoteplotní sprejová pyrolýza (250 stupňů a pod) se neustále objevují a další výzkum a vývoj byl prováděn na chemikáliích, které nepotřebují cílové substráty s vysokou teplotou.