Technologie ultrazvukového postřiku pro depozici vakuové páry

Systém stříkání ultrazvuku se používá pro integraci do vakuové komory. Prostřednictvím experimentů bylo prokázáno, že jedinečný design rozprašovacího systému ultrazvukového rozprašování může být integrován do vakuové uzavřené platformy, vhodné pro aplikace, jako je depozice polymerních páry (PVD) a kovová organická chemická chemická pára (MOCVD). Charakteristická atomizace s nízkou rychlostí generovaná ultrazvukovým atomizačním postřikovacím systémem může vytvořit oblak páry s těsnou distribucí kapiček a velikostí kapiček s frekvencí. Vzhledem k tomu, že ultrazvukové atomizační trysky fungují přeměnou vysokofrekvenčních zvukových vln na mechanické vibrace, je kapalina v kontaktu s povrchem trysky atomizována bez přidání vzduchu nebo plynu, takže integrita vakuové komory není během procesu stříkání oslabena.

Technologie ultrazvukového generátoru integrovaná do ultrazvukového atomizačního postřikovacího systému poskytuje nezbytnou elektrickou energii pro atomizaci a je vybavena pokročilou funkcí vyrovnávání zátěže, která se může automaticky přizpůsobit tak, aby se přizpůsobila různým vakuovým podmínkám, čímž udržuje nejstabilnější postřikovací charakteristiky během procesu vakuového depozice.

Ultrazvukový atomizační postřikovací systém je vhodný pro vysokoteplotní vakuová prostředí a má funkci monitorování chlazení a teploty, aby byla zajištěna vhodná tepelná ochrana.

Výhody aplikace vakuové komory:

• Elektronická zařízení určená pro vyvážení zatížení
• Ochrana a monitorování vysoké teploty
• Unikátní podmínka vakuového konstrukce toku kapaliny
• Atomizace je generována v nepřítomnosti vzduchu/plynu, což udržuje integritu vakua